電子產品用高純石英砂SJ/T 3228.3-2016——第3部分:燒灼失量的測定
中華人民共和國電子行業標準《電子產品用高純石英砂》第3部分——燒灼失量的測定
標準編號:SJ/T 3228.3-2016
標準狀態:現行有效
本標準由中華人民共和國工業和信息化部2016年1月15日發布,2016年6月1是開始實施。
前言
SJ/T 3228系列標準計劃分下列部分:
——SJ/T 3228.1 電子產品用高純石英砂 第1部分技術條件;
——SJ/T 3228.2 電子產品用高純石英砂 第2部分分析方法通則;
——SJ/T 3228.3 電子產品用高純石英砂 第3部分灼燒失量的測定;
——SJ/T 3228.4 電子產品用高純石英砂 第4部分二氧化硅的測定;
——SJ/T 3228.5 電子產品用高純石英砂 第5部分鐵的測定;
——SJ/T 3228.6 電子產品用高純石英砂 第6部分銅的測定;
——SJ/T 3228.7 電子產品用高純石英砂 第7部分鉻的測定;
——SJ/T 3228.8 電子產品用高純石英砂 第8部分鋁的測定;
——SJ/T 3228.10 電子產品用高純石英砂 第10部分鉛的測定。
本部分為第3部分。
本部分按照GB/T1.1-2009給出的規則起草。
本部分代替SJ/T 3228.3-1989。
本部分與前一版本相比、主要技術內容變化如下:
——增加了儀器和設備、試驗環境和報告;
——分析步驟中修改了稱樣量,明確了平行測量次數,細化了稱樣步驟。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。
本部分由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)提出并歸口。
本部分起草單位:工業和信息化部電子工業標準化研究院、國家硅材料深加工產品質量監督檢驗中心、東海縣產品質量監督檢驗所。
本部分主要起草人:程尚栩、欒振祥、許振午、薄雷明、李建德、馮亞彬、管琪。
本部分所代替標準的歷次版本發布情況為:
——SJ/T 3228.3-1989。
1 范圍
本部分規定了高純石英砂灼燒失量的測定方法。
2 規范性引用文件
試樣中所含吸附水、碳酸鹽、有機物以及其它易揮發性物質,經高溫灼燒即分解揮發逸出。灼燒所損失的質量即為灼燒失量。
3 儀器和設備
使用儀器設備包括:
a) 分析天平:精確度為0.1mg;
b) 鉑金坩堝;
c) 馬弗爐:最高溫度應大于等于:1100℃
d) 烘箱;
e) 干燥器。
4 試驗環境
試驗環境要求如下:
a) 溫度:20℃±2℃。
b) 相對濕度:45%~65%。
5 分析步驟
5.1 取兩個鉑金坩堝在1000℃±10℃下灼燒至恒重,稱量,精確至0.1mg。
5.2 準確稱取適量經110℃烘干不少于2h的試樣兩份,精確至0.1mg,置于鉑金坩堝中。
5.3 將裝有試樣的鉑金坩堝置于馬弗爐中,在1000℃±10℃下灼燒1h。
5.4 從馬弗爐中取出裝有試樣的鉑金坩堝,在干燥器中冷卻至室溫,稱量,精確至0.1mg。
5.5 繼續在1000℃±10℃下灼燒20min,重復5.4。
5.6 反復灼燒試樣直至恒量。
6 結果計算
6.1 根據公式(1)計算試樣的灼燒失量。
X=(m1-m2)/m×100%(1)
式中:
X——試樣的灼燒失量,%;
m1——灼燒前鉑金坩堝及試樣的質量,g;
m2——灼燒后鉑金坩堝及試樣的質量,g;
m——試樣的質量,g。
6.2 取兩份試樣灼燒失量的算術平均值,保留兩位小數。
7 報告
報告至少應包括以下內容:
a) 樣品名稱、規格和編號;
b) 送樣單位和送樣日期;
c) 測量環境;
d) 試樣重量;
e) 測量結果;
f) 操作者、審核者、測量日期、測量單位。